温度梯度是指热场中两点间的变化率，如图６１８所示，犃 点的温度是犜１，犅 点的温
度是犜２，即犃点到犅点的温度变化为犜２－犜１，距离变化为犇２－Ｄ１。那么，犃点到犅点
的温度梯度为Δ犜／Δ犇＝（犜２－犜１）／（犇２－犇１），通常以ｄ犜／ｄ犇 表示温度在犇 方向上的变
化率。
图６１８ 温度梯度
显然，犃、犅点间的温度差越大，则ｄ犜／ｄ犇 越大，温度梯度也就越大；反之，犃、犅 点
间的温度差越小，则ｄ犜／ｄ犇 也越小，即温度梯度也越小；如果ｄ犜／ｄ犇＞０，说明由犃 点到
犅 点的温度是升高的；如果ｄ犜／ｄ犇＜０，说明由犃点到犅 点的温度是下降的。
在单晶硅生长时温度梯度有两种：一种是沿籽晶的中心线变化的，故称纵向温度梯度；
另一种是沿与石英坩埚平行方向上变化的，故称横向温度梯度。
（１）纵向温度梯度 在单晶炉里，纵向温度梯度可分为两部分 （见图６１９）：一部分是
固液界面以上，即犼—犵，是底部 （固液界面处）温度高，上部温度低；另一部分是固液界
面以下，即犼—狔，也是底部温度高，上部 （固液界面处）温度低。但明显犼—犵比犼—狔的
变化大。