答：SF6 气体在电气设备中经电弧放电、电晕和火花作用
下，会分解为离子状态的硫和氟，当有水分、空气和金属的介
质存在时，SF6 会水解和化合为多种有毒、腐蚀性气体和固体分
解物。这些分解气体主要有氟化亚硫酰 （SOF2）、氟化硫酰
（SO2F2）、四氟化硫 （SF4）、二氧化硫 （SO2）、十氟化二硫
（S2F10）、十氟化二硫酰 （SO2F10）等；固体分解产物主要有氟
化铜、二氟二甲基硅、三氟化铝粉末等。除去这些杂质气体是
SF6 气体净化处理中重要的一部分，目前SF6 净化处理技术主要
有以下三点：
（1）固体分解物 （固体粉尘）采用固体过滤器 （或碱性超
细过滤器）处理。
（2）对SF6 气体中的水分、气体分解物和矿物油等采用物
理吸附，其吸附剂成分主要是分子筛、苏打石灰 （NaOH+
CaO）、活性氧化铝、硅藻土和硅胶、活性炭过滤器、多孔滤网
等吸附。
（3）对SF6 气体中的空气和四氟化碳 （CF4）等分离，目前
主要采用物理液化分离、深冷固化分离 （制冷又分为机械制冷
和液氮制冷）等技术，该技术的核心是利用空气和 CF4 与 SF6
气体有不同的液化点或凝固点，将气态的空气和 CF4 从 SF6 气
体中分离出去，达到除去杂质气体的作用。