邻重氮萘醌正性光致抗蚀剂是在紫外 (波长300~450nm)光通过掩模照射后,光照部
分重氮基发生分解重排生成羧酸,用稀碱水处理时光照部分溶去,而未曝光部分则保留的一
种光致抗蚀剂,胶层上形成与掩模相同的图形。是目前国际上用量急剧上升的一类抗蚀剂。
主要原料及其规格
1萘酚5磺酸 化学纯
硝酸 工业级
间甲酚 工业级
对甲酚 工业级
甲醛 37%
草酸 化学纯
消耗定额 (按生产每吨成膜树脂计)
间甲酚 094t
对甲酚 031t
草酸 001t
制法 邻重氮萘醌正性光致抗蚀剂主要由感光剂、成膜剂及添加剂组成。
感光剂2重氮1,2萘 醌5磺 酰 氯 可 由 1萘 酚5磺 酸 经 硝 化、 重 氮 化 而 制 得, 具 体 反
应为
師