, 以具有
三个溅射室的双端机为例, 其生产工艺流程如图4-9所示。
图4-8 间歇式磁控溅射镀膜机
—地面轨道; 2—控制台; 3—阴极电源柜; 4—溅射室; 5—溅射阴极 (移动式);
6—装片框及玻璃基片; 7—真空系统; 8—油泵及供油罐; 9—装载运输车
玻璃基片
人工检验
↓ ↓ 装片
洗涤干燥