，此外也适用于高硬度
材料的切割。
将现有中性切削液改进为具有化学劈裂作用和硅发生化学
反应的碱性切削液，使切片中单一的机械作用转变为均匀稳定的化学
机械作用，从而有效解决了切片工艺中的应力问题而降低损伤。同时
碱性切削液能避免设备的酸腐蚀和提高刀片寿命。有效地解决了切屑
和切粒粉末的再沉积问题，避免了硅片表面的化学键合吸附现象，而
便于硅片的清洗和后续加工，消除了金属离子尤其是铁离子污染，所
得切片的表面损伤。机械应力、热应力明显降低。