随着科 学 技术 的发展 和洁 净室 应 用范 围 的扩 大 ，出现 了既 包
括控 制无 生命 微粒 ，也 包括 控制 有 生命 微 粒的 洁 净 度标 准 。 目前
美 国 、欧洲 、日本 和 中国都 分别 制定 了各 自的 洁净 度 级 别 的标 准 ，
但 各 国关 于 洁净度 级 别 的标准 差异不 大 ，并且 在 。 Sp m 这一 粒径
档 上保持 和美 国联 邦 标准 一致 的 表述 ，所 以发 展 趋势 是 各 国制 定
统一 的国际标 准 。 为 此 ， 由 1 6 个 国家 的 空气 洁 净技 术学 会 联 合
组成 的 国际污 染控 制 学会 （ (IC C C S ) 在 19 93 年组 织 了一个 关 于“洁
净 室和有 关控 制 环境 ”标 准制 定 委 员 会 ，有 2 9 个 国家 派 人 参 加 。
标准 制定 完成 后 ，就成 为 国际标 准化 组织 （ISO ）的技术 标 准之 一 ，
一 1 3 9 一编 号为 IS O / T C 209 。 我 国《洁 净 厂房 设 计 规 范 》的修 订 版 也 已采
用 IS O /T C 20 9 的洁 净 度 级 别 。 IC C C S 的 IS O / T C 20 9 洁 净 度 级
别 见 表 8. 2 .
表 8. 2 IC C CS 的 ISO /T C209 洁净度级别表
级别限制
级别 — — — — — —
0. lpm /n13 0. 21 Am /m 3 0. 31em /m 3 0. 5Km /m 3 1. Ojm /m 3 5. Ot Lm /m 3
1 1 0 2
2 1 0 0 2 4 10 4
3 1 000 237 1 02 35 8
4 1 0 0 0 0 2 3 70 1 02 0 3 5 2 8 3
5 1 0 0 0 0 0 0 2 3 70 0 1 0 2 00 3 5 2 0 8 3 2 2 9
6 1 0 0 0 0 0 0 0 2 3 7 0 0 0 10 2 00 0 3 5 2 0 0 8 3 2 0 2 9 3
7 1 352 000 83 200 2 930
6 1 3 52 0 0 0 0 8 3 2 0 0 0 2 9 3 0 0
” ｝ 35200000 “320000 止竺二翌二