洁净室按 其气 流 状 态 ，主要 分 为非 单 向流 洁 净 室 （乱 流 洁净
室 ）、单 向流 洁净 室 （层 流 洁净 室 ）和 辐 流 洁 净 室 （矢 流 洁 净 室 ）。
在 洁净度 为 1 0 00 级 以下 时 ，通 常采 用 非单 向流 洁净 室 ；而 对 洁净
度 高 于 100 0 级 时 ，一 般 要求 采 用 单 向 流 洁净 室 。 但 在 洁 净 室 的
不 同区域 ，往 往有 不 同 的洁净度 要 求 ，因 此 ，常在 洁 净度 要 求 高 的
部位采 用单 向流 ，在其 他部 位 采用 非单 向流 。 这 种 气 流组 织 通常
称 为棍 合流 型 。 辐 流 洁净 室 是 在 单 向和 非单 向 流 洁净 室 基 础 上
新 发展起 来 的具 有 节 能 意 义 的新 型 洁 净 室 。 辐 流 洁净 室 的形 式
主要 为 ：采用 扇形 或半 球形 辐流 风 口，从上 部 侧 面送 风 ，由对 侧 下
部 回风 。 在上 述三 种 洁净 室 中 ，从室 内空 气 的雷 诺数 R e 判断 ，其
流态都 属紊 流 ，其 特 征是按 其作 用原 理和气 流 流线而 区分 的 。