四氯化硅又称为四氯硅烷，是不含氢元素的氯硅烷 （图４２），其
英文名为ｓｉｌｉｃｏｎｃｈｌｏｒｉｄｅ、ｓｉｌｉｃｏｎｔｅｔｒａｃｈｌｏｒｉｄｅ，分子式ＳｉＣｌ４。
纯净的四氯化硅在常温下是无色﹑透明的油状液体，密度较
大，有强烈的刺激性。四氯化硅沸点低，易挥发，易汽化，易于
水解，水解后生成二氧化硅和氯化氢；水解后生成的氯化氢具
有强腐蚀性；它能与苯、乙醚、氯仿及挥发油混合，与醇反应生
成硅酸酯；易与氨作用生成浓雾，这是 ＮＨ３ 与 ＨＣｌ合成 ＮＨ４Ｃｌ
的结果。
硅与卤族元素 （Ｆ２ ﹑Ｃｌ２﹑Ｂｒ２﹑Ｉ２）生成的化合物统称为硅的
卤化物。在制备四氯化硅时，常伴有其他氯化物产生。
四氯化硅的物理常数见表４２。
))%表４２ 四氯化硅的物理常数
名 称 数 值
相对分子质量 １６９．２
液体密度／（ｇ／ｃｍ３） １．４１
蒸气密度／（ｇ／ｃｍ３） ０．００６３
液体的相对密度（水＝１） １．４８
蒸气的相对密度（空气＝１） ５．８６
熔点／℃ －７０
名 称 数 值
沸点／℃ ５７．６
蒸发热／（ｋｃａｌ／ｍｏｌ） ６．９６
生成热／（ｋｃａｌ／ｍｏｌ） －１５３．０
标准生成自由能／（ｋｃａｌ／ｍｏｌ） －１３６．９
临界温度／℃ ２３０
四氯化硅是有毒物质，受热或遇水分解放热，同时放出有毒的腐蚀性烟气。四氯化硅及有
毒烟气危害人身健康，尤其对眼睛及上呼吸道有强烈刺激作用。高浓度的四氯化碳可引起角膜
浑浊、呼吸道炎症，甚至肺水肿。皮肤接触后可引起组织坏死。
生产车间的环境标准：５ｍｇ／ｍ３ （参考前苏联１９７５年的标准）。
四氯化硅的用途有以下几种。
（１）四氯化硅是制备多晶硅的重要原料。在多晶硅生产中，是利用氢气将纯净的四氯化硅
带入还原炉内，使四氯化硅与氢气发生还原反应。也就是说，在多晶硅制备中，是利用四氯化
硅与氢气发生还原反应来获取多晶硅的。
（２）四氯化硅是合成石英玻璃的重要原料。石英玻璃有两种生产方法：一种是利用天然石
英 （ＳｉＯ２）粉料经高温熔制而成；另一种就是四氯化硅合成的，它是利用四氯化硅与氧气和
氢气发生化学反应来获取石英玻璃的。一般来说，合成石英玻璃的纯度、光的透过率等方面都
高于粉料熔制的石英玻璃。目前看来，合成法是将来生产石英玻璃的主要方向。
（３）四氯化硅是生产光导纤维的重要原料。光导纤维其实就是石英玻璃纤维，其生产方法
与合成石英玻璃近似，它也是利用四氯化硅与氧气和氢气发生化学反应来制成石英玻璃棒，然
后再拉制成光导纤维的，因此也缺少不了四氯化硅这个原料。
（４）四氯化硅是生产半导体器件和集成电路的主要原料。半导体器件和集成电路的主要部
分本身就是单晶硅体。单晶硅是用多晶硅拉制的，多晶硅又是以四氯化硅为原料生产的，因
此，四氯化硅是生产半导体器件和集成电路不可缺少的原料。其实还不仅仅这些，在半导体器
件和集成电路的生产中还有一个外延工序，在外延工序中四氯化硅也是重要的原料。
（５）四氯化硅是生产太阳能硅电池的主要原料。太阳能硅电池其实就是一种半导体器件，
因此生产它也少不了四氯化硅这个原料。
（６）四氯化硅可以生产白炭黑。其生产方法主要有两种：一种是湿法，也就是水解法；另
一种是干法，也就是氢氧煅烧法。
（７）四氯化硅是制备有机氯硅烷的重要原料。
