硅芯炉是在充气 （保护气体）条件下，采用区熔法，用多晶硅棒拉制硅芯
的一种专用设备。它的原理与区熔炉相同。所用原料是（３０～８２）ｍｍ×５３０ｍｍ多晶硅棒，成
品是（７～１２）ｍｍ×２５００ｍｍ的多根硅芯。一般硅芯炉，一炉可生产５根硅芯，也有一炉可生
产８根硅芯。