由于多晶硅生产所用的盐酸、三氯氢硅和四氯化硅，在常温情况下都是有毒的液体，所以
可以根据伯努利计算公式计算其泄漏量，其计算方法如下：
犙＝犆犱犃狉ρ１槡２（犘１犘－１犘犪）＋２犵犺 
式中 犙———液体排出率，ｋｇ／ｓ；
犃狉———裂口流出的面积，ｍ２，本项目取０．０１；
犆犱———流量系数，一般取０．６～０．６４，本项目取０．６２；
犘１———操作压力或容器压力，Ｎ／ｍ２；
ρ１———液体密度，ｋｇ／ｍ３；
犘犪———外界压力或大气压，Ｎ／ｍ２；
犺———罐中液面在排放点以上的高度，ｍ。
这个方法没有考虑泄漏速率对时间的依赖关系 （压力随时间而降低以及液压高度下降）。
因此，计算出的泄漏速率是保守的最大可能泄漏速率。