生产单晶硅的原料———多晶硅是放在石英坩埚里的。生产时，石英坩埚被密封在单晶炉
里，生产过程中不能加料，因此，每一炉只能生产一根单晶硅棒，而且该单晶硅棒的大小决定
于石英坩埚的尺寸。石英坩埚尺寸小，单晶硅棒就小；石英坩埚尺寸大，单晶硅棒就大。由于
坩埚尺寸不能过大，所以单晶硅棒也就不能大。连续加料法生产单晶硅就不同了，它在生产过
程中是可以加料的，因此，单晶硅棒的大小不受石英坩埚尺寸的限制。其具体方法如图１０３
所示，该法所用的单晶炉旁多了一个熔硅炉１４。熔硅炉里也有一个石英坩埚，而且也装满多
!$!晶硅料，这个石英坩埚里熔化的多晶硅可以顺管道流入单晶炉内的石英坩埚里。生产时，当单
晶炉内石英坩埚里的料快使完时，可由熔硅炉内石英坩埚里的多晶硅液补充。这样一来，生产
的单晶硅棒就可以变大。直拉单晶炉连续加料法示意图
１—提升装置；２—副炉室；３—炉室；４１８—视觉传感器；５—炉盖；６—坩埚；
７—籽晶；８—晶体；９—熔化的多晶硅；１０—加热器；１１—惰性气体排放口；
１２—水冷电极；１３—坩埚转动装置；１４—熔硅炉；１５—熔硅坩埚；
１６—熔硅加热器；１７—导硅管；１９—熔硅电极；
２０—惰性气体排放口；２１—保温层
这种方法虽好，但目前还只是个想法，因为还有些难题没有解决，如导硅管１７的沾污问
题、保温层２１的选料问题和补料对拉晶的干扰问题等，都有待深入研究。但可以相信，这些
问题很快就会得到满意的解决。