带硅,顾名思义就是带状的硅。带硅又称硅带或带状硅,它是利用不同的技术,直接在硅
熔体中生长出的一种带状多晶硅材料。
目前生产的单晶硅和多晶硅大都是圆棒状的 (图104),浇注的多晶硅是方形的,而带硅
是带状的。采用单晶硅或浇注的多晶硅制作太阳能光伏电池,都要经过切割机将其切成硅片,
!$"而带状硅本身就是片状,不用再切片就可以直接用来制作太阳能光伏电池,这样一来,就简化
了硅片的加工工艺。其实与单晶硅和多晶硅相比,带硅的优势还不仅如此,单晶硅和多晶硅在
切片时要有切片损失,而带硅没有。内圆切割,刀锋损失300~400μm;多线切割,刀锋损失
200μm左右;目前硅片厚度一般是260~300μm。也就是说,起码要有50%以上的硅材料被白
白浪费掉了。由此看来,切片的损失是相当惊人的。
由于带硅具有简化硅片加工工艺、节约硅材料的优点,所以得到人们的关注,在太阳能光
伏产业中已经得到初步应用。目前,带硅材料已经占到太阳能光伏电池材料市场的3%~4%,
看来,带硅材料已具有很好的发展潜力。
棒状的单晶硅和多晶硅
1—单晶硅;2—多晶硅
关于带硅材料的制备,目前已知有20多种技术在开发,现在简单介绍其中三种。
(1)滚轮法。滚轮法 (图105)是将多晶硅放入石英管2内,先用电炉3将其升温熔化,
然后从上方通入气体1将熔化的硅液4从转动的两个滚子5的中间挤压出,形成长带状,再经
超急速冷却就可生产出结晶的带状硅6。
通过改变通入气体1的外加压力和两个滚子5的中间间距及旋转速度,就可控制带状硅的
厚度。
气体1应该是纯净的,而且应该是对硅液4没有污染的气体,最好是氩气、氮气或氢气。滚轮法带状单晶硅生产示意图
1—气体;2—石英管;3—电炉;4—熔化的硅液;
5—滚轮;6—带状硅
图106 间隙上拉法带状单晶硅生产示意图
1—石英坩埚;2—多晶硅液体;3—铸模;4—带状单晶硅
(2)间隙上拉法。间隙上拉法 (图106)是将多晶硅放入石英坩埚1内,将其升温熔化成 垂直上拉法带状
单晶硅生产示意图
1—石英坩埚;2—被熔化的
多晶硅液体;3—籽晶;
4—带状单晶硅
多晶硅液体2。熔化的多晶硅液2靠着毛细管作用从铸模3的间隙上
升,然后再将上升上来的多晶硅液体2上拉,就能拉出一定厚度及
宽度的带状硅4。
如果石英坩埚1能够足够长,这种方法就可以一次拉出多根带
状硅4。
(3)垂直上拉法。滚轮法和间隙上拉法都可以生产出带状硅,
但它们生产的都不是单晶带状硅,而是多晶带状硅。有一种方法可
以生产出单晶带状硅,那就是垂直上拉法。
垂直上拉法,它与现在的直拉法生产单晶硅一
样,不同的是,直拉法生产单晶硅的石英坩埚是旋转的,而垂直上
拉法的石英坩埚不旋转。再有,直拉法生产单晶硅与垂直上拉法使
用的籽晶形状不一样,直拉法生产单晶硅使用的籽晶是方柱或圆柱
形的,而垂直上拉法的籽晶上部是方柱形,而下部是片状的。段硅棒的断面示意图
狉—硅芯的半径;δ犺—硅棒被加厚 (沉积)
的厚度;δ1—厚度沉积速率
(在单位时间里硅棒沉积的厚度)
垂直上拉法的生产工艺与直拉法生产单晶硅的工艺基本相同,
不同的只是垂直上拉法的石英坩埚不旋转。由于垂直上拉法使用了
单晶硅的籽晶为引子,所以生产出的才是单晶带状硅。