多晶硅的生产不是创造硅,而是以硅生硅,将工业硅提纯,使之达到高纯并变成结晶的
硅。要想通过还原反应制备出合格的多晶硅,就得首先对参加还原反应的氢气和四氯化硅 (三
氯氢硅)进行提纯,并且使之达到高纯的要求,不然,就制备不出合格的多晶硅。合格的多晶
硅产品是有金属光泽的半导体,如果参加还原反应的氢气中含有极为微量的水或氧,都会使还
原生成的多晶硅氧化,使载体硅棒的表面形成没有光泽的氧化层。这种氧化的多晶硅是废品,
使用时需要去掉。硅棒上有了氧化层后,就是再沉积上合格的多晶硅也是白费力,因为使用
时,这层表面的多晶硅要与氧化层一起去掉。因此,有了氧化层还原炉就得停炉。停炉,硅棒
就不可能再继续长粗。
氢气不合格需要停炉,四氯化硅 (三氯氢硅)不合格就更需要停炉。四氯化硅 (三氯氢
硅)不合格,就会使还原出的多晶硅达不到高纯的要求,这样的多晶硅更是废品。如果生产当
中发现四氯化硅 (三氯氢硅)不合格,也需要停炉。
由此可以看出,要想加大载体硅棒的最终直径 犇2,就需要认真地搞好氢气和四氯化硅
(三氯氢硅)的提纯。