特性 将现有中性切削液改进为具有化学劈裂作用和硅发生
化学反应的碱性切削液，使切片中单一的机械作用转变为均匀稳定
的化学机械作用，从而有效解决了切片工艺中的应力问题而降低损
伤。同时碱性切削液能避免设备的酸腐蚀和提高刀片寿命。有效地
解决了切屑和切粒粉末的再沉积的问题，避免了硅片表面的化学键
合吸附现象，而便于硅片的清洗和后续加工，消除了金属离子尤其
是铁离子污染，所得切片的表面损伤、机械应力、热应力明显
降低。