① 蒸气脱脂或用丙酮清洗。
② 碱性清洗: 在66℃下, 把部件浸入无硅酸盐碱性清洗剂中5min。
③ 40℃下在流动自来水中冲洗2min。
④ 工作温度下在流动的去离子水中冲洗1min。
⑤ 碱性腐蚀: 在82~93℃下, 在479g/L的烷基磺酸盐 TuRCO5778溶液中浸
泡5~10min。
⑥ 工作温度下用自来水冲洗2min。
⑦ 工作温度下用去离子水冲洗1min。
⑧ 60℃下在鼓风烘箱中干燥30min。
⑨ 在准备粘接前, 把部件包裹在干净的牛皮纸中。