水平仪 自准直仪 反射镜
图3-28 测量直线度误差
⑤ 自准直仪法, 如图3-28 (d) 所示。 用自准直仪和反射镜测量是将自准直仪放在固定
位置上, 测量过程中保持位置不变。 反射镜通过桥板放在被测要素上, 沿被测要素按节距逐79
段连续移动反射镜, 并在自准直仪的读数显微镜中读得相应的读数, 对读数进行计算可求得
直线度误差。 该测量中以准直光线为测量基准。
3-25 怎样检测平面度误差?
答: 平面度误差是指被测实际表面对其理想平面的变动量。
平面度误差的测量方法有直接和间接测量法两种。 直接测量法是将被测实际表面与理想
平面直接进行比较, 二者之间的线值距离即为平面度误差。 间接测量法是通过测量实际表面
上若干个点的相对高度差或相对倾斜角, 经数据处理后, 求得其平面度的误差值。
常见的平面度误差测量方法有指示器测量法、 水平仪测量法、 平晶测量法和自准直仪及
反射镜测量法等。
① 指示器测量法, 如图3-29 (a) 所示。 被测零件支承在平板上, 将被测平面上两对角
线的角点分别调整等高或最远的三点调成距测量平板等高。 按一定布点测量被测表面。 指示
器上最大与最小读数之差, 即为该平面的平面度误差的近似值。
② 水平仪测量法, 如图3-29 (b) 所示。 将水平仪通过桥板放在被测平面上, 用水平仪
按一定的布点和方向逐点测量。 经计算得到平面度误差值。
③ 平晶测量法, 如图3-29 (c) 所示。 将平晶紧贴在被测平面上, 由产生的干涉条纹,
经过计算得到平面度误差值, 此方法适用于高精度的小平面的测量。
④ 自准直仪及反射镜测量法, 如图3-29 (d) 所示。 用自准直仪和反射镜测量是将自准
直仪固定在平面外的一定位置, 反射镜放在被测平面上, 调整自准直仪, 使其和被测表面平
行, 按一定布点和方向逐点测量, 经计算得到平面度误差值。