对于单晶硅生产来说,纵向温度梯度是必须要有的,尤其是固液界面以上纵向温度梯度124 光伏电池关键制造与检测技术问答
更为重要,它直接决定着单晶硅生产的成功与失败。
在单晶炉里纵向温度梯度的形成有两个原因:一个是由于熔化的硅液温度太高,而
且只集中在石英坩埚内,而石英坩埚上空不存在供热的热源,这样,石英坩埚里的硅液
就会向外散热,使得固液界面处的温度最高,越往上,越远离固液界面温度越低,从而
形成了纵向温度梯度;另一个是由于加热器本身的热场纵向温度不均匀 (见图620),中
部最高,上、下都低,尤其是上下边沿部位,温度最低。其原因很简单,主要是由于边
沿部位散热造成的。