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    拉晶时的纵向温度梯度
    2023-10-21 信息编号:1305148 收藏
对于单晶硅生产来说,纵向温度梯度是必须要有的,尤其是固液界面以上纵向温度梯度124 光伏电池关键制造与检测技术问答
更为重要,它直接决定着单晶硅生产的成功与失败。
在单晶炉里纵向温度梯度的形成有两个原因:一个是由于熔化的硅液温度太高,而
且只集中在石英坩埚内,而石英坩埚上空不存在供热的热源,这样,石英坩埚里的硅液
就会向外散热,使得固液界面处的温度最高,越往上,越远离固液界面温度越低,从而
形成了纵向温度梯度;另一个是由于加热器本身的热场纵向温度不均匀 (见图620),中
部最高,上、下都低,尤其是上下边沿部位,温度最低。其原因很简单,主要是由于边
沿部位散热造成的。
  • 什么是温度梯度?
    温度梯度是指热场中两点间的变化率,如图618所示,犃点的温度是犜1,犅点的温度是犜2,即犃点到犅点的温度变化为犜2-犜1,距离变化为犇2-D1。那么,犃点到犅点的温度梯度为Δ犜/Δ犇=(犜2-犜1)/(犇2-犇1),通常以d犜/d犇表示温度在犇方向...
    10-21
  • 什么样的温度合适呢?
    如果是在真空状态下拉晶,一般可以根据液面与石英坩埚交界处波动的快慢,进行大致的判断。当温度偏高时,液面与石英坩埚交界处的波动会很频繁,可以看到很多个波动点。当温度偏低时,液面与石英坩埚交界处...
    10-21
  • 直拉法是怎样生产单晶硅的?
    直拉法生产单晶硅,俗称拉晶,其工艺流程如图611所示。从图611中可以看出,直拉法生产单晶硅可分为如下几个步骤。(1)准备从图611中可以看出,单晶硅生产的准备工作有很多。①多晶硅是生产单晶硅的原料。要想生...
    10-21
  • 直拉单晶炉是怎样的?
    直拉单晶炉是直拉法生产单晶硅的主要设备,简称单晶炉。如图66所示,单晶炉主要图66单晶炉示意图1—提升装置;2—副炉室;3—炉室;4—视觉传感器;5—炉盖;6—坩埚;7—籽晶;8—晶体;9—熔化的多晶硅;10—加热器;11—惰性气体排...
    10-21
  • 单晶硅的生产方法有哪几种?
    单晶硅的生产方法有直拉法、区熔法、气相生长法、片状生长法、外延法等多种。其中,直拉法又分为两种:一种是有坩埚直拉法;另一种是无坩埚直拉法。区熔法也分为两种:一种是水平区熔法;另一种是悬浮区熔...
    10-21
  • 什么是单晶硅?单晶硅有哪几种?
    要说硅,大家可能都知道,因为我们居住的房屋是用含有硅的材料建造的,我们喝水用的玻璃杯里有硅,用的计算机里有硅,看的电视里有硅,用的空调里有硅,开的汽车里有硅,就连我们走的路也有硅。筑路用的砂子、石...
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