答：以下以某聚合物薄膜法分离装置为例，简述SF6/N2 混
合气体的分离过程，装置流程如图6-6所示。
薄膜可以选择碳分子筛薄膜、聚酰亚胺薄膜或聚碳酸酯作
为分离薄膜。
聚合物薄膜法的基本装置主要由薄膜分离器、气压调节器、
气体流量调节器、气体流量表、加热器及其控制器组成。薄膜
分离器是其中的核心装置，有进气口、排气口、回收口三个口。
分离的步骤如下：
（1）将压缩后的SF6/N2 混合气体充入薄膜分离器。薄膜分
271第6章 SF6 气体的回收处理再利用技术
图6-6 聚合物薄膜法分离SF6/N2 混合气体装置流程图
离器中的薄膜为聚合物薄膜。由于 N2 的渗透率比较大，能很快
穿过薄膜，排放到大气中。在分离器内部剩余了大量高浓度的
SF6 气体。
（2）这些高浓度的 SF6 气体通过气体流量调节器直接被回
收。事实上，也有少量SF6 气体穿透了薄膜，混在 N2 中，因此
不能直接排放。在实际应用中，可以将两个装置串联起来使用，
即将第二个装置的进气口与第一个装置的排气口相连，第二个
装置的回收口与第一个装置的进气口相连。这样做，可以使回
收得到的气体中SF6 的含量很高，而排放到大气中的气体中SF6
的含量很低。
另外，可以通过改变原始混合气体的压力和聚合物薄膜的
大小来改变分离装置处理气体的速度。