玻璃基片运入车间后, 经人工检验, 合格者运至装片
台旁指定位置, 然后用装片机将基片装到装片台, 通常采
用较多的是吊车、 真空吸盘组合装置及自动装片机, 当采
用前者时, 还需配备由液压装置驱动的可翻转的装片台。
装片时, 装片台由液压装置驱动翻转80°, 人工操纵
真空吸盘装置从玻璃垛架将基片吸住, 然后控制吊车将基
片运至装片台并放在它的下端挡辊上, 此时液压装置反向
供油, 辊道输送机复位, 自动控制使输送辊道传动装置启
动, 输送辊道将玻璃基片输送到入口洗涤干燥机, 洗净吹
干的基片自洗涤干燥机出来进入人工检验站, 合格的基片
送进入口室, 基片在此室等待进入缓冲室Ⅰ, 室的两端有
狭缝阀 V1和 V2, 当 V1打开、 V2关闭时, 基片进入此室,
随即关闭 V1, 然后开始抽真空, 当真空度为10Pa时停止
抽气。 玻璃基片从此室进入缓冲室Ⅰ前, 缓冲室Ⅰ的真空
度与入口室的一致时狭缝阀能 V2打开, 因此启动缓冲室
Ⅰ的真空泵, 使其压力降低, 当其压力与入口室相等时打
开狭缝阀 V2, 同时启动输送辊道, 玻璃基片从入口室进
入缓冲室Ⅰ, 然后关闭 V2, 继而入口室、 缓冲室Ⅰ及溅
射室分别按各自的程序工作; 入口室的进气阀自动打开,
导入经过滤的空气, 使此室的压力升高, 当其压力升至大
气压力时将 V1打开, 启动前方的输送辊道, 第二片玻璃
基片进入入口室。
缓冲室Ⅰ的真空系统继续抽真空, 将真空抽至 5×
10-6Pa高真空, 因为缓冲室Ⅰ与溅射室Ⅰ连接, 抽至如
此高真空后, 缓冲室Ⅰ、 溅射室Ⅰ室壁及玻璃基片吸附的杂质均被排除, 此乃获得高质量镀
97加工玻璃生产操作问答
膜玻璃的必要条件。 然后降至溅射工作压力, 同时各溅射室的真空泵启动, 向溅射室通入工
作气体, 向阴极通电并将其电流及电压调至工艺规定的数值, 然后启动缓冲室Ⅰ及溅射室Ⅰ
内的输送辊道, 将玻璃基片输送至溅射室Ⅰ, 并同时送入反应氧气, 此时溅射室内产生溅
射, 溅射粒子沉积在基片上形成膜层, 基片在该室停留一定时间, 完成第一层膜层的镀制,
再启动溅射室Ⅰ及溅射室Ⅱ内的输送辊道, 基片输送至溅射室Ⅱ, 同时送入惰性气体氮气,
基片在此室镀第二层膜层 (金属膜层), 然后再按同样的程序, 基片输送至溅射室Ⅲ, 同时
送入反应氧气, 基片在此室镀第三层膜层 (氧化物膜层), 各溅射室之间有隔板, 上下隔板
间只有一条狭缝, 基片在此狭缝通过, 相邻两隔板之间形成一个中间槽, 在此槽的前后设有
抽气或送气口, 控制各溅射室的气体互不干扰。
基片镀完三层膜后自溅射室Ⅲ进入缓冲室Ⅱ, 然后从缓冲室Ⅱ进入出口室, 各步的程序
与基片进入入口室至溅射室Ⅰ的程序相仿但方向相反。 镀膜玻璃自出口室进入辊道输送机。
当第一片基片自缓冲室Ⅰ进入溅射室Ⅰ后, 第二片基片自入口室进入缓冲室Ⅰ, 第三片基片
自输送辊道进入入口室。 如此一片基片随着另一片基片循序渐进。
镀膜后的玻璃自输送辊道进入出口洗涤干燥机, 排除落于玻璃表面的无用粒子, 洗净吹
干的镀膜玻璃自出口洗涤干燥机进入检验站, 此站设有透射率、 反射率检测仪, 镀膜玻璃进
入检验区后自动进行检测, 在岗位上设有显示仪器, 并将信号传输至控制台, 控制台可将数
据储存备查。 检验站设有人工检查镀膜疵点, 发现有疵点时画上记号, 卸片装箱将其剔除。
经检验合格的镀膜玻璃进入卸片台, 用卸片机卸下, 然后装箱入库。