单 向流 洁 净 室 ，也 称 为 层 流 洁 净 室 ，其气 体 流态 目前 常 见 的
主要 有水 平单 向 流和垂 直单 向流 。 单 向流 洁净 室 最早 于 1 9 61 年
出现 在美 国 ，它是 洁净 技术 发展 的重 要 里程 碑 。 这 一 技术 使 异 常
洁净 的环 境成 为可 能 。 根 据 洁净 技 术 理论 ，对 于 洁 净 度 10 0 级 以
上 的高级 别 的洁净 室 中 ，应 采用 单 向 流 （平行 流 ）。 单 向流 洁 净 室
的工作 原 理见 图 8. 3 a
在单 向流 洁净室 内，干净气 流不 是一股或几股 ，而是 充满全室 断
面 ，所 以这种洁净室不是靠掺混 稀释作用 ，而是 用洁净气 流把室 内脏
一 1 5 1 一高效过滤
迎`A 回风A道-图L}i}1 --
图 8. 3 单向流洁净室工作原理示意图
空气沿整 个断面排至室外 ，从 而达到净化 的 目的。 所 以，有 文献称单
向流洁净室的气 流为 “活塞流”、“平 推流”。 从原理上 讲 ，在单 向流洁
净室 中，单 向的平行气 流应充 满整个洁净室 ，但这在 技术上和经济上
都是不利的。 所 以又有观点提 出，这种单 向流只是指在有限区域内的
全部空气 沿平行流线 以等速 流动的意思 。 如仅在工 作区这一空 间里
保证单向流 ，即该 区域指是单向流洁净室 。
需要 指 出的是 ，单 向流 和流 体力 学 中的层 流 是两 个 不 同 的概
念 。 从 流体 力学 的角 度 分 析 ，单 向流 洁 净 室 中 的气 流 属 紊 流 ，所
以单 向流洁 净室 中的平 行气 流 实 际上 是 时均 流线 的平行 ，而不 是
流体 力学 中 的瞬 时流线 平行 的 层 流 。 另外 ，由于 洁净 室 内不 可 能
是 全空房 间 ，总会有 一些 回流或 涡 流 ，但 只要 流线 的 曲率很 小 ，彼
此 间夹 角也很 小 ，即可 满足 这种 洁净 室的要 求 。
单 向 流洁 净 室 的 三个 特性 指 标 分 别 是 ：流 线平 行 度 、乱 流 度
和 下 限风速 。 其 数 值 根 据 不 同 工 况 可 分 别 按 《洁净 厂 房 设计 规
范 )) (G BJ73- 84 ) 和从参 考文 献 〔8 〕中选 取 。