各种行业对氢气的要求各不相同,表53给出了各行业所需氢气主要技术参数。
表53 各行业所需氢气主要技术参数
行 业 用 途 技 术 参 数 用氢特点
电子
电真空器件生产
纯度:>99.99%
氧含量:<5×10-6
D.P.-60℃
压力:≥0.02MPa
半导体器件
纯度:>99.99%
氧含量:<1×10-6
D.P.-80~-60℃
压力:≥0.2MPa
大规模、超大规模集成电路
纯度:>99.99999%
氧含量:<5×10-9
D.P.-80℃
压力:≥0.02MPa
电子材料
纯度:>99.99%
氧含量:<5×10-6
D.P.-60~-40℃
压力:≥0.02MPa
昼夜连续或班连续使用
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行 业 用 途 技 术 参 数 用氢特点
冶金
有色金属生产
纯度:>99.99%
氧含量:<5×10-6
D.P.-70~-50℃
压力:≥0.02MPa
昼夜连续使用
钢材加工(薄板、特殊钢管生产等)
纯度:>99.99%
氧含量:<5×10-6
D.P.-70~-50℃
压力:≥0.02MPa
昼夜连续使用
石油化工
催化重整加氢
渣油脱硫加氢
石脑油加氢精制等
纯度:>99.9%
压力:≥1.0~2.0MPa 连续使用
电力 发电机氢气冷却 纯度:>99.5%
压力:≥0.03~0.5MPa 一次充氢或经常补充氢
建材
轻化工
浮法玻璃生产
纯度:>99.995%
氧含量:<5×10-6
D.P.-60℃
压力:≥0.02MPa
油脂化学、醇类加氢 纯度:>99.95%
压力:≥1.0~7.0MPa
人造宝石 纯度:>99.5%
压力:≥0.02MPa
昼夜连续使用
昼夜连续或班连续使用