还原炉是否节能与散热有关,散热多,能量损失大,就不节能;反之,散热少,能量损失
小,就节能。还原炉的散热与炉壁的材质、厚度、面积有关;与炉壁夹套里水或油的温度有
关。如果两台还原炉炉壁的材质、厚度都一样;炉壁夹套里水或油的温度也都相同,那么,就
看哪台还原炉炉壁的面积小,哪台就节能。
如果还原炉里的硅棒生长 (沉积)条件不变,还原炉炉壁的材质、厚度及炉壁夹套里水或
油的温度也都相同,想要知道增加还原炉的硅棒数是否可以节能,那就要看增加硅棒后,每根
硅棒占有的炉壁面积有没有减少,减少就节能。
9对棒还原炉,炉壁面积约11.3m2,每根硅棒占有的炉壁面积是1.26m2。如果还原炉的
大小不变,而只是硅棒增加一对,那么每根硅棒占有的炉壁面积是1.13m2。1.13m2 小于
1.26m2,所以节能。
在同一台还原炉里增加硅棒是可以节能的,但问题是,还原炉底盘的大小是一定的,增加
硅棒,底盘的面积不够。如果增加硅棒多了,必然影响硅棒生长,这样一来,不仅不会节能,
而且还会妨碍硅棒的正常沉积。所以增加硅棒就得加大还原炉的体积。
一般12对棒还原炉的炉壁面积约14m2,每根硅棒占有的炉壁面积是1.17m2。这个数小
于1.26m2,所以比9对棒还原炉节能。
由上述例子可以证明,增加还原炉的硅棒数是可以节能的。