多晶硅生产设备对所用钢材有如下要求。
（１）要有足够的强度。多晶硅生产是一种化工生产，所用的设备为压力容器，因此，所用
钢材首先要有足够的强度。若采用的钢材强度过低，为满足其承受压力荷载的需要，就要增加
设备的壁厚。这样一来，强度问题会得到解决，但设备就会显得粗笨，而且还会给制造与安装
带来很多不便。采用的钢材强度过高也不好，钢材强度过高，设备的造价就高，投资就多，另
外，钢材强度过高，设备的抗脆性断裂的能力就会降低。
（２）要有良好的塑性、韧性。在多晶硅生产过程中，压力的变化和物料的流动都会对设备
!*)产生冲击，温度的变化会使设备产生热胀冷缩，若钢材没有良好的塑性和韧性，就会出现裂
纹，就会被撑破、胀坏，因此，多晶硅生产设备所用钢材要有良好的塑性、韧性，要有抗疲劳
破坏的能力。
（３）要有良好的焊接性能。多晶硅生产设备所用钢材要有较好的冷成形和热成形的性能，
要能够按照多晶硅生产工艺要求制造出合格的生产设备，而且要能够保证多晶硅生产过程中的
压力、温度和流动的冲击和拉伸，因此，多晶硅生产设备所用钢材要有良好的焊接性能。
（４）要有良好的耐腐蚀性。多晶硅的生产设备里盛装的三氯氢硅、四氯化硅是具有很强腐
蚀性的化学物质，因此，多晶硅生产设备所用钢材要有良好的耐腐蚀性。
（５）要对硅的沾污少。多晶硅是一种超高纯产品，所以对钢材的要求相当严格，尤其是三
氯氢硅或四氯化硅的提纯设备和还原系统的设备，对钢材的要求就更加严格，不仅要求所用钢
材，要有足够的强度，良好的塑性、韧性以及良好的焊接性能和耐腐蚀性，而且还不能对三氯
氢硅、四氯化硅、多晶硅有沾污。硅是比较活泼的，在高温下，还没有发现哪种钢材不与硅发
生反应，因此只能要求多晶硅生产设备所用钢材要对硅的沾污少。
根据上述多晶硅生产设备对所用钢材的要求可以发现，普通的碳钢不符合要求，至少，那
些与三氯氢硅或四氯化硅直接接触的设备不能采用普通碳钢。如果采用普通碳钢，不仅设备很
快就会被腐蚀损坏，而且生产出的多晶硅也会因受沾污而质量不合格。因此，多晶硅的生产设
备，尤其是与三氯氢硅或四氯化硅直接接触的设备，不适合采用普通碳钢来制造，只能用不锈钢。
