单晶炉里所用的氩气和多晶硅还原炉置换所用的氮气都是惰性气体。惰性气体本身是无毒
的，对人的身体无直接危害，但在高浓度时，氩气、氮气都有窒息作用。
当空气中的氩气浓度高于３３％时就有窒息的危险。当氩气浓度超过５０％时，人员将出现
严重症状，浓度达到７５％以上时，能在数分钟内死亡。液氩可以伤害皮肤，眼部接触可引起
炎症。
氮气过量，使氧分压下降，会引起缺氧。大气压力为３９２ｋＰａ使人爱笑和多言，对视、听
和嗅觉刺激反应迟钝，智力活动减弱；在９８０ｋＰａ时，肌肉运动严重失调。
为防止氩气、氮气的危险性，一定要记住，有氩气、氮气存在的厂房要有良好的通风。