所谓并串联技术,就是在生产过程中,硅棒的接电有并联和串联两种模式存在,有时是并硅芯布置示意图
1~4—4对硅棒组成外圈第一组,简称外圈1 (WR1);5~8—4对硅棒组成外圈第二组,
简称外圈2 (WR2);9~12—4对硅棒组成外圈第一组,简称外圈1 还原电源框图
联,也有时是串联。这种接电模式的改变是根据硅棒电压、电流的变化自动实现的
(1)并联模式 )。多晶硅生产的特点是,在硅棒生长初期,由于直径小、电阻
大,需要高电压、小电流的供电。此时将4对硅棒两两串联后并联,以便在有效的电压范围内
正常工作。由于并联的两支路电阻可能不一致,采用支路均流技术,使并联时各支路电流并联触发示意图
(2)串联模式 )。在硅棒生长中期或后期,由于直径大、电阻小,需要低电压、
大电流的供电,此时将4对硅棒串联工作。