多晶硅氢还原的尾气中主要还有氢气、氯化氢和氯硅烷。要想回收氢气，就要从尾气中去
不锈钢筛板塔的塔头示意图
１—进料管；２—分配腔；３—列管；４—水冷腔；５—进水口；６—出水口；
７—聚料腔；８—出料管；９—尾气管
掉氯化氢和氯硅烷。从尾气中去掉氯硅烷，可以用冷冻的方法。先让氯硅烷液化，然后就可以
方便地通过气液分离技术除去。氯化氢的沸点较低，很难采用冷冻分离的方法除去，怎么办
呢？人们发现氯硅烷有吸收氯化氢的特性。所以尾气中的氯化氢就采用氯硅烷吸收的方法除
去。完成吸收任务的设备就是吸收塔。
吸收塔又称为吸收器，其构造与精馏塔的塔柱基本一样，也分为填料式和板式两种，只不
过，没有塔釜和塔头，如图８２８所示。
氯硅烷进口４在吸收塔的上部，是氯硅烷进入口。氯硅烷进入塔内后向下喷淋，喷淋出的
氯硅烷液体落在筛板５上。由筛板５阻挡，落到筛板上的液体布满整个筛板，再顺各个筛孔向
下滴落，使氯硅烷液体得到再次分布的作用。
尾气进口３在吸收塔的下部，是尾气的进塔口。经冷冻分离方法除去氯硅烷的尾气由尾气
进口３进入吸收塔后，一直向上进入填料层，与下落的氯硅烷液体相遇，尾气中的氯化氢被氯
硅烷液体吸收而被除去。剩下的氢气，一直向上从氢气出口７出塔。吸收了氯化氢的氯硅烷液体从液体出口８排出塔外。