精馏塔是精馏法提纯四氯化硅、三氯氢硅的主要设备，它由塔釜、塔柱和塔头三部分组
成。精馏塔有多种。
（１）按材料分。按材料分，常见的有三种：石英玻璃精馏塔、不锈钢精馏塔和不锈钢聚四
氟塑料衬里精馏塔。
① 石英玻璃精馏塔。石英玻璃精馏塔是指采用石英玻璃材料制成的精馏塔。石英玻璃的
耐腐蚀性能好，采用石英玻璃精馏塔精馏提纯四氯化硅或三氯氢硅，设备的沾污少，可获得较
纯的产品。因此，在我国电子材料生产中，石英玻璃筛板塔被广泛地采用。
６是石英玻璃筛板塔。从图中可以看出，筛板塔是由塔釜１、塔柱２和塔头３三部分组成的。 石英玻璃筛板塔示意图
１—塔釜；２—塔柱；３—塔头
图８１７ 不锈钢精馏塔示意图
１—塔釜；２—塔柱；３—塔头
!*$石英玻璃筛板塔的塔柱２和塔头３全部都是用石英玻璃制成，塔釜１有两种，一种是石英
玻璃的，另一种是不锈钢的。一般的石英玻璃筛板塔的塔釜都是石英玻璃的，这样可减少污
染，但由于现实的石英玻璃生产技术所限，采用石英玻璃制作大的塔釜还是有难度的，因此，
一般对于单产大的石英玻璃精馏塔，还是采用不锈钢塔釜。如果精馏产品的质量要求过高，不
锈钢塔釜不能满足要求，也可采用一塔多釜的办法来解决。
② 不锈钢精馏塔。随着电子工业的飞速发展，要求硅材料产量日益增加，给精馏塔的设
备材料提出了更高的要求。由于石英玻璃的性质脆弱，仅局限于用来制造小型的精馏塔，所以
很难满足大规模工业生产的需要，因此，石英玻璃精馏塔已逐渐由高纯的不锈钢来取代。
不锈钢精馏塔是采用不锈钢材料制造的，也主要是由塔釜１、塔柱２和塔头
３三个部分组成的，其各部分的功能与石英玻璃精馏塔基本相同，但由于大多数的不锈钢筛板
塔比石英玻璃筛板塔体形高大，再加上所用的制造材料不同，所以具体在构造上也有些不同。
③ 不锈钢聚四氟塑料衬里精馏塔。为了弥补不锈钢精馏塔易于沾污被提纯物的不足，出
现了一种不锈钢聚四氟塑料衬里精馏塔。该种精馏塔的结构与不锈钢精馏塔完全一样，只是在
塔釜１、塔柱２和塔头３的不锈钢内壁上喷涂了一层聚四氟塑料薄层。这层聚四氟塑料薄层位
于不锈钢与被提纯物之间，从而隔断了不锈钢与被提纯物的接触，由于聚四氟塑料对四氯化硅
或三氯氢硅的沾污比不锈钢少，可以减少对被提纯物的沾污，就可以提高精馏产品的质量。
（２）按构造。按构造，精馏塔可分为填料塔和板式塔两种。
① 填料塔。填料塔是指塔柱２中放有填料的精馏塔。如图右面的图是被放大
的塔柱３。在塔柱３下部的孔板４上面放有填料５。不锈钢填料塔
１—塔釜；２—塔柱；３—塔头；４—孔板；５—填料层
!*%在填料塔中，由塔底进入的气体向上流动，塔头回流的液体向下流，气液两相在填料层接
触，进行传质。因此填料是非常重要的。
作为填料，比表面积越大越好，对气体的阻力越小越好，而且要有足够的强度和足
够的化学稳定性，对四氯化硅或三氯氢硅不沾污。在多晶硅生产中，常用的是不锈钢或
聚四氟塑料制成的填料。其实，最好的填料应该是用细薄壁石英玻璃管制成的填料。石
英玻璃不仅可以制成比表面积大、阻力小的填料，而且制成填料有足够的强度和足够的
化学稳定性，因为石英玻璃本身就是硅制品，所以它不会对四氯化硅或三氯氢硅有任何
的沾污。
② 板式塔。板式塔又可分为筛板塔、泡罩塔、浮阀塔和舌形塔等多种，但在多晶硅生产
中常见的板式塔只有筛板塔。筛板塔 （图８１９）外观与填料塔基本相同，只是塔柱２的内部有
多块筛板４，每块筛板４上焊有一根降液管５。不锈钢筛板塔
１—塔釜；２—塔柱；３—塔头；４—筛板；５—降液管
筛板塔工作时，塔头回流的液体向下流，受筛板４阻挡，在筛板４上形成一个液体层；由
塔底进入的气体向上流动，通过筛孔穿过筛板４，进入液体层中鼓泡，气液两相在筛板４上充
分接触，进行传质。
降液管５是控制筛板４上液层厚度的。当液层过厚时，一部分液体就会由降液管５降落到
下层塔板，这样该层塔板上的液体层厚度就会永远保持一致。
