多晶硅生产中的挥发器 （图８１３）俗称鼓泡器，是氢气与三氯氢硅或四氯化硅的混合器。
挥发器里盛装有液体的三氯氢硅或四氯化硅，氢气从三氯氢硅或四氯化硅液体的底部进入，然
后在三氯氢硅或四氯化硅液体中鼓泡并向上穿过液层，从上部出挥发器，进还原炉。氢气经过
鼓泡，与三氯氢硅或四氯化硅充分接触，所以从挥发器出来的氢气中就含有一定量的三氯氢硅
或四氯化硅，从而完成氢气与三氯氢硅或四氯化硅的混合，因此，挥发器也称为混合器。
挥发器是还原系统中的一个重要设备，它不仅可以完成氢气与三氯氢硅或四氯化硅的混
合，而且还可以通过它来控制原料的配给量，保持还原反应所需的氢气与三氯氢硅或四氯化硅
的配合比，从而决定氢还原的反应速率和硅棒的沉积率。
氢气在三氯氢硅或四氯化硅中的鼓泡过程是吸热的，有时挥发器的下部会出现结霜现象，
因此，挥发器的下部有加热装置，以此来保证挥发器中三氯氢硅或四氯化硅的温度，永远保持
在合理的范围内。
 挥发器
１—氢气进气管；２—出气管；３—进料管；４—外壳；５—液位计接口；６—排污管；７—加热线圈