３０４不锈钢是应用最广泛的一种铬镍不锈钢，具有良好的耐腐蚀性、耐热性、低温
强度和力学特性。它广泛地用于制作要求良好综合性能 （耐腐蚀性和成形性）的设备和
!*!机件。为了保持不锈钢所固有的耐腐蚀性，钢必须含有１２％以上的铬。３０４不锈钢是按
照美 国 ＡＳＴＭ 标 准 生 产 出 来 的 不 锈 钢 的 一 个 牌 号。３０４ 相 当 于 我 国 的 ０Ｃｒ１８Ｎｉ９
（０Ｃｒ１９Ｎｉ９）不锈钢。
３０４Ｌ不锈钢的碳含量较低，是３１６不锈钢的变种，用于需要焊接的场合。较低的碳含量
使得在靠近焊缝的热影响区中所析出的碳化物减至最少，而碳化物的析出可能导致不锈钢在某
些环境中产生晶间腐蚀 （焊接侵蚀）。３０４Ｌ不锈钢相当于我国的００Ｃｒ１９Ｎｉ１０（０Ｃｒ１８Ｎｉ１０）不
锈钢。
３１６不锈钢也是应用最为广泛的一种不锈钢，具有良好的耐腐蚀性、耐热性、低温强度和
力学特性。３１６不锈钢与３０４不锈钢的不同，是在化学成分上，３１６不锈钢含钼 （Ｍｏ），而
３０４不锈钢不含钼 （Ｍｏ）。３１６不锈钢相当于我国的０Ｃｒ１７Ｎｉ１２Ｍｏ２不锈钢。
由于３１６不锈钢中添加了钼 （Ｍｏ），所以３１６不锈钢比３０４不锈钢的耐腐蚀性更好些；
３１６不锈钢比３０４不锈钢在高温环境下更耐腐蚀，而且３１６不锈钢比３０４不锈钢的加工硬化性
更优秀。所以在高温环境下，工程师一般都会选用３１６不锈钢材料的零部件。但３１６不锈钢不
能用于有浓硫酸的环境中。
３１６Ｌ不锈 钢 的 碳 含 量 较 低，是 ３１６ 不 锈 钢 的 变 种。３１６Ｌ 不 锈 钢 相 当 于 我 国 的
００Ｃｒ１７Ｎｉ１４Ｍｏ２不锈钢。
因为多晶硅生产是在含氯的环境中使用，所以一般的设备大多都是使用３１６Ｌ不锈钢制
造，但由于３１６Ｌ不锈钢价格太高，所以有些不重要的设备或不与氯硅烷直接接触的设备可用
３０４不锈钢或碳钢材料代替，但还原炉的内壁一定要采用３１６Ｌ不锈钢制造，不然，多晶硅产
品的质量就会受到一定的影响。
３０４、３０４Ｌ、３１６、３１６Ｌ不锈钢的化学成分见表８５。
表８５ 不锈钢的化学成分 单位：％
不锈钢 碳（Ｃ） 硅（Ｓｉ） 锰（Ｍｎ） 铬（Ｃｒ） 镍（Ｎｉ） 硫（Ｓ） 磷（Ｐ） 钼（Ｍｏ）
３０４ ≤０．０８ ≤１．０ ≤２．０ １８．０～２０．０ ８．０～１２．０ ≤０．０３ ≤０．０３５
３０４Ｌ ≤０．０３ ≤１．０ ≤２．０ １７．０～１９．０ ８．０～１１．０ ≤０．０３ ≤０．０３５
３１６ ≤０．０８ ≤１．０ ≤２．０ １６．０～１８．０ １０．０～１４．０ ≤０．０３ ≤０．０４５ ≤２．０～３．０
３１６Ｌ ≤０．０３ ≤１．０ ≤２．０ １６．０～１８．０ １２．０～１５．０ ≤０．０３ ≤０．０４５ ≤２．０～３．０