解吸塔是多晶硅尾气回收的另一台主要设备，位于吸收塔之后。解吸是吸收的逆过程。其
作用是将氯化氢从氯硅烷液体中分离出来，将氯硅烷再重新送回还原系统使用。解吸塔的构造
与吸收塔基本相同，但增加了一个塔釜，吸收塔
１—塔柱；２—填料；３—尾气进口；
４—氯硅烷进口；５６—筛板；
７—氢气出口；８—液体出口
解吸塔
１—塔柱；２—填料；３—富液进口；４—回收液进口；
５６—筛板；７—氯化氢气出口；８—贫液出口；９—丝网
填料；１０—塔釜；１１—热水出口；１２—热水进口；
１３—上连通管；１４—下连通管
吸收了氯化氢的氯硅烷液体 （简称富液）被排出吸收塔后，通过解吸塔上部的富液
进口３进入解吸塔，然后向下通过填料层，落入塔体的下部。解吸塔体的下部与塔釜相
连，富液通过上连通管１３和下连通管１４流入塔釜１０中。塔釜１０是一个列管加热器，
富液在塔釜里被加热，富液中的氯化氢受热蒸发，变成气体上升，进入填料层。氯化氢
气体加热了填料层，填料层又加热了由富液进口３进入的富液。氯化氢气体穿过填料层
后，继续向上进入丝网填料层９。向上氯化氢气体里会沾有一些氯硅烷的液滴，丝网填料
层９有阻挡液滴通过的作用，从而可使氯化氢气体除去部分氯硅烷液滴，得到一次提纯。
从丝网填料层９里出来的氯化氢气体从氯化氢气出口７流出解吸塔。从氯化氢气出口７流
出的氯化氢再经冷冻除去残留的微量氯硅烷液体，就可送沸腾炉去生产三氯氢硅，剩下
的氯硅烷液体由回收液进口４流回解吸塔。解吸后的贫液 （氯硅烷）从贫液出口８排出
后，可送还原炉再用。