在生产多晶硅的设备里装有氢气，在生产单晶硅的设备里装有氩气，所以都要进行气体
置换。
单晶硅炉的置换，一般采用抽真空的办法，也就是，先为单晶炉抽真空，把炉腔里的空气
抽净，然后再往炉腔里通氩气，只有这样才可保证整个炉腔都被氩气占据。
多晶硅设备里有氢气。氢气是易燃、易爆的危险气体，不可直接与空气接触，尤其是温度
较高的氢气就更不可与空气接触，接触会发生爆炸。因此，多晶硅设备的置换更为重要。多晶
硅设备具体怎样置换呢？多晶硅设备的置换分两类：一类是开炉置换；另一类是拆炉置换。
开炉置换就是在开炉前要把设备里的空气换成氢气。氢气是易燃、易爆气体，不可直接与
空气接触，怎么来换呢？其常用的方法有两种：一种是与单晶炉一样的置换法，就是采用抽真
空的办法，先为多晶设备抽真空，把设备里的空气抽净，然后再往设备里通氢气 （为了确保置
换彻底，上述工作可重复多次，直到置换彻底为止）；另一种是借用中间气体来置换。把惰性
气体当成中间气体，一般中间气体是选用氮气。操作时，先向多晶硅设备里通入氮气，用氮气
赶走多晶硅设备里的空气，赶净后再通入氢气，这样就可安全地把多晶硅设备里的空气赶走，
换成氢气。
拆炉置换就是在拆炉前要把设备里的氢气换成空气。其常用的方法也是两种：一种是采用
抽真空的办法，先为多晶硅设备抽真空，把设备里的氢气抽净，然后再往设备里通空气；另一
种是借用中间气体来置换。先向多晶硅设备里通入氮气，用氮气赶走多晶硅设备里的氢气，赶
净后再通入空气。
气体置换是安全生产的一个重要部分，不可大意。大意就会发生危险，就会产生事故，就
会带来损失，甚至造成人员伤亡。因此，气体置换工作一定要认真、彻底，绝对不可马虎。