三氯氢硅与四氯化硅很相似，它也是无色透明发烟液体，具有难闻的窒息性气味，也具有
强腐蚀性、强刺激性，也是可致人体灼伤的有毒物质。
三氯氢硅也极容易水解，也会生成有毒的腐蚀性烟气———氯化氢；它也刺激眼及上呼吸
道；高浓度时，可引起角膜损伤、呼吸道炎症，甚至肺水肿。常伴有头昏、头痛、乏力、恶
心、呕吐、心慌等症状。溅在脸上，可引起坏死，溃疡长期不愈。
三氯氢硅与四氯化硅不同的是，三氯氢硅是易燃易爆的物质，与氧化剂能发生强烈反应，
遇明火会被点燃，甚至引起爆炸。
三氯氢硅在高温环境下会自燃，其自燃温度为１０４℃。
三氯氢硅的沸点较低，需在低温下储存，三氯氢硅的储罐应设置低温保护装置和降温措
施。由于三氯氢硅有潜在的燃烧、爆炸危险，所以它的储罐应与生产装置要有一定的防火间
距，并且要设置防火堤，降温水的排放管道在经过防火堤处要设置闸阀。储罐应设静电接地装
置和避雷装置。储罐内的气相要与氮气系统相连进行保护，储罐的气相与外部连通的平衡管
（放空管）应与尾气回收系统相连，不能直接排空，并且应设止回阀和阻火器。储罐区应设一
个备用罐，在紧急情况下应将泄漏的储罐内的物料转移至备用罐，防止大量泄漏。
如果发生三氯氢硅泄漏，应根据泄漏量的大小划出一定的警戒范围，禁止无关人员和车辆
进入警戒区，切断警戒区内的所有火源，迅速撤离泄漏污染区内的人员至安全地带。如果是储
罐发生泄漏，又不能及时排除泄漏，就应该将发生泄漏的储罐内的三氯氢硅用氮气压入备用罐
内。如果是生产中的设备和管道发生泄漏，应立即停止生产并迅速关闭有关阀门切断物料输
!!'送。泄漏地带有水源时，应用干沙土围成隔离带，将泄漏的三氯氢硅与水隔离开来。抢险人员
进入危险区域时应佩戴自给式呼吸器或防毒面具。应先查明泄漏部位的泄漏状况。由于储存三
氯氢硅的容器为常压容器，应针对不同的泄漏部位采取不同的堵漏措施，切断泄漏源，用沙
土、水泥吸收残留液。三氯氢硅泄漏后发生燃烧时，应采用干砂、二氧化碳、干粉、水泥灭
火，禁止直接用水和泡沫扑救。