硅材料是当今电子工业中最重要的半导体材料,它具有其他材料无法相比的优势,在半导
体材料中,是当之无愧的 “第一把交椅”。为什么这样说呢?看看下面的数据就会清楚。
(1)硅是重要的基础材料。硅材料是半导体工业中最重要元素半导体材料,是微电子工业
和太阳能光伏工业的基础材料。硅的化学稳定性好,本身对环境没有污染,又具有良好的半导
体材料特性。因此,硅是应用最广泛的半导体材料,尤其是在太阳能光伏工业上应用更为广
泛,仅多晶硅和单晶硅占了太阳能光伏材料的90%左右。除了多晶硅和单晶硅外,还有非晶
硅也是太阳能的光伏材料之一。
(2)硅的资源丰富。硅材料是半导体工业中最重要且应用最广泛的元素半导体材料,是微
电子工业和太阳能工业的基础材料,其用量很大。但硅的资源相当丰富,是地壳中最多的元素
之一,仅次于氧,在地壳中的丰度达26%左右。
(3)硅具有特殊的物理化学性能和良好的半导体性质。硅熔化时体积缩小,固化时体积增
大,这一性质与水基本相同。硅材料的硬度高,脆性大,具有良好的半导体性质,其本征载流
子浓度为1.5×1010个/cm3,本征电阻率为1.5×1010Ω·cm,电子迁移率为1350cm2/(V·
s),空穴迁移率为480cm2/(V·s)。
(4)硅的禁带宽、漏电流小。硅的禁带宽 (1.1eV),漏电流小。随着1947年双极型晶体
管的发明,开始出现固态电子器件。刚开始用于制造二极管和三极管的半导体材料是锗(Ge),然而,由于锗的禁带窄小 (0.66eV),引起PN 结反向时锗中有相当大的漏电流。这
一点限制了锗器件只能在低于100°时才能工作。此外,集成电路平面处理需要能在半导体表
面上生成一层钝化层。氧化锗能作为钝化层,但难以生成,而且其溶于水,在800℃时分解。
这些限制使锗在作为制造集成电路的材料方面,与硅比起来相形见绌。硅的禁带更宽
(1.1eV),漏电流小,因此可以生产出最高工作温度达150℃左右的硅器件。此外,硅的氧化
物,SiO2 易于生成,而且化学性质十分稳定。
(5)硅耐高温。硅耐高温,抗辐射性能较好,可靠性高。因此特别适宜制作大功率器件,
目前的集成电路半导体器件大多数是用硅材料制造的。
(6)硅容易制造。硅是最容易制造的半导体材料,在半导体材料中,硅单晶的直径最大。
目前,生产直径12in的单晶硅棒已是成熟技术,而且生产18in的单晶硅棒也已不是什么难题
了。而砷化镓单晶的最大直径仅为6.18in。
(7)硅晶体完整性好。硅晶体的完整性最好。在成锭的半导体材料方面,硅单晶的晶体完
整性最好,现在已经可以生产出无位错单晶。到目前为止,用其他半导体材料生长无位错单晶
还没有成功的例子。
(8)硅成本低。在半导体材料中,硅半导体材料的生产成本最低。
至今,人类对半导体硅材料的应用还不到百年,但由于硅半导体材料具有独特的性质,使
它成为现代电子工业和信息社会的基础,其发展已成了20世纪材料和电子领域的里程碑,它
的应用直接促进了全球科学技术的飞速发展。近10年来,它又成为了太阳能光伏产业大厦的
“奠基石”,现有的太阳能光伏电池,有90%以上是用半导体硅材料制造的。电子工业和信息
社会离不开半导体硅,太阳能光伏产业也离不开半导体硅。因而有人说,将来的社会是半导体
硅的天下,它的前途是光明的,就像东方初升的太阳一样,光芒四射。