当前的多晶硅生产大多是采用化学方法提纯，所用的原料大多是对环境有污染的化学品，
管理不当就会对环境造成不良的影响。另外，多晶硅生产的尾气里含有大量的有毒物质，处理
不好更会对环境造成不良的影响。特别是，采用西门子法来生产多晶硅，它要产生大量的副产
品四氯化硅。四氯化硅是有毒的化学污染物，如果处理不好，会给环境带来极大的危害。
为了保护环境，应加强对多晶硅生产的改进，尽全力处理多晶硅生产尾气中的有害物质，
使之达标排放。应想方设法为四氯化硅寻找用武之地，防止它污染环境。
具体怎样来改进呢？对于多晶硅生产的尾气，可以采取回收利用。其回收的方法，目前有
两类：一类是湿法；另一类是干法。两类回收的技术，目前都已经很成熟。也就是说，不管是
采用湿法还是干法都可以。湿法投资少一些，干法投资多一些，但湿法回收与水接触，使气体
中掺进微量氧，因此要进行除氧处理，而干法不用，因此干法要比湿法安全。
对于四氯化硅的处理，可以采用生产白炭黑的方法来处理，也可以采取加氢的方法来处
理，还可以采取三氯氢硅和四氯化硅混合源生产多晶硅的方法来处理，当然也可以采取多晶硅
和石英玻璃制备法的方法，或一种没有四氯化硅排放的多晶硅生产法来处理。不管采用哪一种
方法来处理，都要保证处理干净，并且要保证处理过程中四氯化硅不外漏，特别要注意，处理
后的尾气一定要达标后再排放。