表 1 助剂
原 料 配比（质量份）
聚氧乙烯山梨糖醇酐单油酸酯 3
纳米氮化铝 0.1
碳酸氢铵 3
乙醇胺 1
羧甲基壳聚糖 2
二乙二醇丁醚 1
丙二醇 8
桃胶 3
硅酸钠 1275
续表
原 料 配比（质量份）
尿素 4
过硫酸铵 2
水 20
表 2 硅片线切割用水基切削液
原 料 配比（质量份）
环烷酸钠 2.5
壬基酚聚氧乙烯醚 2.5
油酸二乙醇胺 1.5
脂肪酸甘油酯 4.5
月桂醇硫酸钠 1.5
矿物油 16
石油磺酸钠 2.5
油酸 1.5
助剂 7
水 200
（1）助剂的制备 将过硫酸铵溶于水后，再加入其他剩余物料，
搅拌 10～15min，加热至 70～80℃，搅拌反应 1～2h，即得。
（2）切削液的制备 硅片线切割用水基切削液的制备：将水、环
烷酸钠、壬基酚聚氧乙烯醚、月桂醇硫酸钠、石油磺酸钠混合，加热
至 40～50℃，加入脂肪酸甘油酯、矿物油、油酸、助剂，在 1000～
1200r/min 搅拌下继续加热到 70～80℃，搅拌 10～15min，加入其他剩
余成分，继续搅拌 15～20min，即得。
本品各组分质量份配比范围为：环烷酸钠 2～3、壬基酚聚
氧乙烯醚 2～3、油酸二乙醇胺 1～2、脂肪酸甘油酯 4～5、月桂醇硫
酸钠 1～2、矿物油 15～18、石油磺酸钠 2～3、油酸 1～2、助剂 6～8、
水 200。
所述助剂包括以下组分：聚氧乙烯山梨糖醇酐单油酸酯 2～3、纳
米氮化铝 0.1～0.2、碳酸氢铵 2～3、乙醇胺 1～2、羧甲基壳聚糖 2～276
3、二乙二醇丁醚 1～2、丙二醇 5～8、桃胶 2～3、硅酸钠 1～2、尿素
3～4、过硫酸铵 1～2、水 20～24。
检 验 项 目 检 验 标 准 检 验 结 果
最大无卡咬负荷（PB）值/N ≥400 ≥700
单片， 24h，合格 ＞56h 无锈
防锈性（35℃±2℃），一级灰铸铁
叠片， 8h，合格 ＞16h 无锈
铸铁， 24h，合格 ＞56h
腐蚀试验（35℃±2℃），全浸
紫铜， 8h，合格 ＞24h
对机床涂料适应性 不起泡、不开裂、不发黏