用途与用法 本品除主要适用于半导体材料的切割外，也适
用于高硬度材料的切割。
９４１ 水基金属切削液
配方 （质量份）
原 料 １号 ２号 ３号 原 料 １号 ２号 ３号
聚乙二醇（ＰＥＧ２００） ９０ — — 胺碱———羟乙基乙二胺 ９ ３０ ２０
聚乙二醇（ＰＥＧ６００） — ５０ — 螯合剂———ＦＡ／Ｏ １ １０ ５
聚乙二醇（ＰＥＧ１０００） — — ３０ 去离子水 余量 余量 余量
制作方法 在连续搅拌下的聚乙二醇中，将羟乙基乙二胺和
螯合剂缓慢依次加入，搅拌至均匀得生产浓度的切削液，在生产使
用时与去离子水按１∶（１０～２０）配制使用。