。分子束外延是一种经过改进的真空蒸发工艺。利用这种方法可以精确控制射向衬底的
蒸气速率，能获得厚度只有几个原子厚的超薄单晶，并可得到不同材料不同厚度的互相交叠
的多层外延材料。非晶态半导体虽然没有单晶制备的问题，但制备工艺与上述方法相似，一
般常用的方法是从汽相中生长薄膜非晶材料。