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    加热器的热场纵向温度不均匀
    2023-10-21 信息编号:1305149 收藏
(2)横向温度梯度 加热器形成的热场,除了有纵向温度不均匀之外,也存在横向的
温度不均匀,从而形成了横向温度梯度,如图621所示。除了加热器横向的温度不均匀
之外,还有硅液温度太高,而向外散热,特别是向横向散热,也是造成横向温度梯度的
主要原因。
  • 拉晶时的纵向温度梯度
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    10-21
  • 什么是温度梯度?
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  • 什么样的温度合适呢?
    如果是在真空状态下拉晶,一般可以根据液面与石英坩埚交界处波动的快慢,进行大致的判断。当温度偏高时,液面与石英坩埚交界处的波动会很频繁,可以看到很多个波动点。当温度偏低时,液面与石英坩埚交界处...
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    直拉法生产单晶硅,俗称拉晶,其工艺流程如图611所示。从图611中可以看出,直拉法生产单晶硅可分为如下几个步骤。(1)准备从图611中可以看出,单晶硅生产的准备工作有很多。①多晶硅是生产单晶硅的原料。要想生...
    10-21
  • 直拉单晶炉是怎样的?
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    10-21
  • 单晶硅的生产方法有哪几种?
    单晶硅的生产方法有直拉法、区熔法、气相生长法、片状生长法、外延法等多种。其中,直拉法又分为两种:一种是有坩埚直拉法;另一种是无坩埚直拉法。区熔法也分为两种:一种是水平区熔法;另一种是悬浮区熔...
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