答：为了保证 SF6 在使用中的良好性能，在电气设备解体
时将设备中已含杂质的 SF6 气体抽出，经提纯回收后再重复使
用。为此，国外诸多公司均研究开发了 SF6 提纯回收方法，大
多采用变压吸附、膜分离、液化或它们的组合。以下为国外一
371电力设备用SF6 气体技术问答
些公司近年来研究开发的SF6 提纯回收方法。
（1）昭和电工株式会社。
该公司专利JPkokai297910 （1998）中采用一吸附剂吸附
去除 SF6 的分解产物。吸附剂为载有铝酸钠的活性炭 （10g
NaAlO2/100mL活 性 炭 ）。吸 附 后 SF6 中 所 含 的 HF、SO2、
SOF2、SO2F2、SF4 等均被除去。
（2）AlliedSignal。
该公司专利 US5720797 （1998）中，采用变压吸附法从低
含量的 SF6 的气流中回收 SF6。所用吸附剂为孔径大于 5×
10—10m 的沸石，吸附压力至少为1.36MPa，温度为常温。实例
中含质量分数为18.39% 的 SF6 及空气的混合气体，经吸附后
流出的气体仅含0.2%左右的SF6。吸附剂经减压解吸后，可得
到较高浓度的SF6。工业生产中SF6 常由精馏制得，塔顶馏出物
含少量SF6，用该专利方法可回收。
图6-7 SF6 分离回收流程图
（3）东芝株式会社。
专利JP Kokai110284 （2001）中的 SF6 分离回收流程如
图6-7所示。图6-7中绝缘设备中含 SF6 的待回收气体经装有
471第6章 SF6 气体的回收处理再利用技术
氢氧化钙吸附剂的过滤器，将 SF6 分解产物 （HF等）中和除
去。再经加压泵/真空泵、缓冲罐进入气体分离装置即变压吸附
装置，内装粒径为5×10—10m 的沸石，它可吸附氮而不吸附SF6
（图 6-8为 SF6/N2 混合气体分离流程，吸附压力为 0.2～
0.5MPa），未被吸附但浓度提高了的 SF6 气体进入液化器，它
被冷冻器冷却。液化的 SF6 进入贮罐贮存。液化后分出的不凝
缩气体回入缓冲罐。变压吸附后解吸的气体经贮罐中吸附剂
（10×10—10m 沸石）吸附 SF6 后，或排放，或循环回入绝缘设
备，而解吸的SF6 回入缓冲罐。流程中设有一控制装置，借以
调控整个分离回收装置。
图6-8 SF6/N2 混合气体分离流程图
（4）三菱电机株式会社。
专利JP Kokai285719 （1997）中，SF6 提纯回收流程见
图6-9。绝缘设备中含有分解产物等杂质的 SF6 气体，先经过
滤器去除金属氟化物，再经装有氢氧化钙水溶液的吸收器去除
SF6 分解产物，然后经冷却凝缩去除大部分水分后，进入装有沸
石的脱水器，此后进入液化器，使液化的 SF6 与氮、氧、CF4
等不凝缩气体分离，液化的 SF6 经减压汽化后，再返回绝缘
设备。
（5）山阳电子工业株式会社。
专利JPKokai246042 （2000）中，用变压吸附和液化方法
571电力设备用SF6 气体技术问答
图6-9 SF6 提纯回收流程图
1—绝缘设备；2—过滤器 （去除金属氟化物）；3—送气吸气装
置；4—分解气体吸收器；5—脱水器；6—液化器 （去除空气）；
7—汽化器；8—减压阀
分离提纯含有杂质的 SF6 气体。绝缘设备中的气体先经加压冷
却液化，液化温度为 —40℃ （用液氮冷却），压力为 3MPa以
上。未液化气体经吸附剂沸石吸附氮气 （不吸附SF6）后，未吸
附的SF6 循环回入液化系统。用此装置可回收到几乎100%纯度
的SF6，而变压吸附解吸出来的氮气不含SF6。
（6）日立酸素 （株）。
专利JPKokai159511 （2000）中，采用两种吸附剂去除 SF6
中的不同杂质。第一种吸附剂为含 NaOH 的Ca（OH）2，用于吸附
（中和）酸性SF6 分解产物 （如 HF、SO2）。第二种吸附剂为活性
氧化铝或沸石，用于吸附其他分解产物 （如 SF4、SOF2、SO2F2
等）。第一种与第二种吸附剂质量比为4～5∶1。吸附前气体中
HF体积分数为5000×10—6，其他杂质均为1000×10—6，吸附
后均检测不出 （检测下限：HF为0.1×10—6；SO2、SF4 为0.2
×10—6；SOF2、SO2F2 为10×10—6）。如仅用氧化铝或将氧化
铝与氢氧化钙预混后作吸附剂，吸附效果有所降低。
（7）旭硝子株式会社。
专利JPKokai38145 （2001）中，提供一种含微量SF6 排气
的无害化处理方法。在回收 SF6 的分离提纯过程中，虽然尽量
降低排气中SF6 的含量，但仍难免会有微量混入，因此对其进
行无害化处理是必要的。按该专利，含 SF6 的气体与天然气
671第6章 SF6 气体的回收处理再利用技术
（可燃气）、空气 （助燃气）和水一起在1100～1400℃燃烧炉内
进行热分解，使排气通过pH 值为7～11的 NaOH 水溶液，其
中酸性成分被吸收，然后气体即可排放。再用碳酸钙或氢氧化
钙水溶液中和吸收液，生成的非水溶性钙盐被分离出，可加以
利用，母液可排放，也可用于配制 NaOH 水溶液。
