它包括四类关键产品。
（１）超净高纯试剂 超净高纯化学试剂亦称湿化学品，或加工化学品，是超大规模集成
电路制作过程中关键性基础化工材料之一，主要用于芯片的湿法清洗和湿法蚀刻，它的纯度
和洁净度对ＩＣ 的成品率、电性能及可靠性都有着十分重要的影响。超净高纯试剂具有品种
多、用量大、技术要求高、贮存有效期短和强腐蚀性等特点。使用这种试剂的工艺主要是洗
净 （包括干燥）、光刻、蚀刻、显影、去膜、掺杂等。这种试剂包括超净高纯酸及碱类、超
第一章 绪论 １１
净高纯有机溶 剂 和 超 净 高 纯 蚀 刻 剂。在 半 导 体 工 业 中 的 消 耗 比 例 大 致 为：ＮＨ４ＯＨ４％～
８％，ＨＣｌ３％～６％，Ｈ２ＳＯ４２７％～３３％、其他酸１０％～２０％、Ｈ２Ｏ２８％～２２％、蚀刻剂
１２％～２０％、有机溶剂１０％～１５％。
随着ＩＣ 存储容量的增大，存储器电池的氧化膜更薄，而试剂中所含的杂质、碱金属等
溶进氧化膜之中，造成耐绝缘电压的下降；试剂中所含的重金属若附着在硅晶片表面上，则
会使ｐｎ结耐电压降低。一般认为，产生ＩＣ 断丝、短路等物理性故障的杂质分子大小为最小
线宽的１／４，产生腐蚀或漏电等化学性故障的杂质分子大小为最小线宽的１／１０。主要生产商
有北京化学试剂所 （５００ｔ／ａ，２２ 个品种）、苏州瑞红电子化学品公司 （１０００ｔ／ａ，４０ 余个 品
种）等。北京化学试剂研究所的 ＢＶⅢ级试剂已达到国外 ＳｅｍｉＣ７质量标准，适合于０８～
１２μｍ 工艺，已形成５００ｔ／ａ规模的生产能力，ＭＯＳ级试剂已开发生产出２０多个品种，年
产量超过４０００ｔ，这在我国处于较高水平，但只相当于国外的中等水平；国外 ＳｅｍｉＣ１２ 质
量标准达到００９～０２μｍ 工艺水平。
２００２年１０月，上海华谊开始承担国家 “８６３”计划 ＵＬＳＩ超纯试剂制备工艺研究课题，
从事超纯过氧化氢、硫酸、氢氟酸、盐酸、醋酸、异丙醇等微电子化学品的研究和开发。国
内首个超高纯微电子化学品项目２００４年底在上海兴建，这个项目由上海华谊集团公司所属
的上海中远化工有限公司与中国台湾联仕电子化学材料股份有限公司联合出资。项目首期投
资超过１７亿人民币，可年产近２万吨各种超高纯微电子化学品。
罗门哈斯公司已在中国建立８个工厂，其中在广东和中国香港分别有一家电子 材 料 工
厂。ＭａｅＤｅｒｍｉｄ公司在广东番禺和中国香港设有电子化学品生产装置，已在上海建设了新
装置，从而加强其在中国电子化学品市场的地位。该公司在亚太地区销售额至少已占其销售
总收入的１５％。日本精氢氟酸 （ＨＦ）生产商 Ｓｔｅｌｌａ化学公司与中国浙江中央 Ｆｌｕｏｒ工业公
司组建合资企业，投资５００万美元，建设１万吨／年无水氢氟酸装置，于２００３年底投产。所
产氢氟酸由Ｓｔｅｌｌａ化学公司大阪和新加坡生产地提纯至电子级。Ｓｔｅｌｌａ化学公司高纯氢氟酸
在电子工业中所占份额已达６０％～７０％。
（２）光刻胶 为了适应微电子行业亚微米图形加工技术的要求，光刻胶的开发，已从普
通紫外光 （ＵＶ）即ｇ线 （４３６ｎｍ），发展到深紫外 （ＤＵＶ） 即ｉ线 （３６５ｎｍ），准分子激光
束 （ＫｒＦ２４８ｎｍ 和 ＡｒＦ１９３ｎｍ）以及电子束、Ｘ 射线、离子束等一系列新型辐射 抗 蚀 材 料，
即紫外光刻胶 （包括紫外正型光刻胶、紫外负型光刻胶）、深紫外光刻胶、电子束胶、Ｘ 射
线胶、离子 束 胶 等。 目 前 的 开 发 重 点 是ｉ线 光 刻 胶 和 化 学 增 幅 性 光 刻 胶 （ＣＡＲ）。ＣＡＲ
（ＣｈｅｍｉｃａｌｌｙＡｍｐｌｉｆｉｅｄＲｅｓｉｓｔ）是以易酸解聚合物为最佳化学平台，加入适当的光产酸 剂、
光引发剂及其他成分构成的。化学 增 幅 性１９３ｎｍ 光 刻 胶 的 研 制 被 列 为 国 家 “十 五８６３” 计
划，由北京化学试剂研究所承担技术攻关。光刻胶目前国产能力约１００ｔ／ａ，北方生产 大 户
是北京化学试剂所 （负胶２０ｔ／ａ，正胶５ｔ／ａ），南方大户是苏州瑞红电子化学品公司 （负胶
２０ｔ／ａ。正胶２０ｔ／ａ）。无锡化工研究院的电子束胶可提供少量产品。国内光刻胶的其他研制
生产单位有上海试剂一厂、黄岩有机化工厂、北京师范大学、上海交通大学等。
（３）特种电子气体 在特种电子气体方面，高纯气体中 Ｎ２、Ｈ２、Ａｒ等气体在电子工
业中主要用作稀释气和运载气；而硼烷 （Ｂ２Ｈ６）、磷烷 （ＰＨ３）、砷烷 （ＡｓＨ３）等气体主要
用作气体掺杂剂。特气产品除要求 “超纯”之外，还要求 “超净”，即特气中粒子和金属杂
质有极严格的要求。我国特气市场以中外合资企业为主，如英国 ＢＯＣ 公司与上海吴淞化工
厂合资建立的上海比欧西气体公司 （ＳＢＯＣ）、与天津华北氧气厂合资建立的天津伯克气体
公司及在张家港建立的张家港 ＢＯＣ 气体设备公司等；法国液化空气公司在华建了３家特气
合资企业；美国空气产品和化学品公司 （ＡＰＣＩ）在华也建了３家合资企业；日本岩谷产业、
美国普莱克斯 （Ｐｒａｘａｉｒ）、日本氧气公司、德国林德公司也纷纷在华建立了合资企业。国内
特气企业也在迅速发展，四川中核红华特种气体公司、黎明化工研究院等单位是其中的典型
