垂直连续式磁控溅射镀膜生产线由积木式多台设备组
成, 如图4-12所示。
图4-12 垂直连续式磁控溅射镀膜机
玻璃规格为2540mm×3660mm 的垂直连续式磁控溅
射镀膜生产线的各台设备的功能和结构组成如下。
① 装片机: 将玻璃基片自集装架或木箱一片片地装
到生产线上, 通常采用吊车-真空吸盘组合装置。
② 装片台: 由可翻转的辊道输送机和一组液压装置
构成, 装片时, 液压装置先将辊道输送机翻转80°, 人工
扶真空吸盘装置从玻璃垛架将玻璃基片吸住, 然后控制吊
99加工玻璃生产操作问答
车将基片运至装片台。 当采用自动装片机装片时, 无需配置装片台。
③ 入口洗涤干燥机: 用来清洗烘干玻璃基片, 表面要求做到洁净干燥。
④ 人工检验站: 用来检验玻璃基片洗涤干燥的质量, 或取出洗涤干燥时偶尔产生的
碎片。
⑤ 装框站: 是一个矩形框, 玻璃基片垂直装于其中, 框的上下分别有滑架及导板, 由
气液联动装置驱动其沿轨道运行至下一工序。
⑥ 旋转装载机: 将装有玻璃基片的装片框组合成对, 背对背地放到装载机上, 等待输
送进入溅射室前的入口室。
⑦ 入口室: 由室壁、 电加热元件、 驱动装置、 外门、 内门、 真空及送风系统组成。 将
两个装片框从外面传送入本室, 外门关闭, 从大气压力抽真空至10-2Pa, 使附于玻璃基片
上的水蒸气解吸, 内门打开, 将装片框传送至下一工序。
⑧ 溅射室: 由室壁、 密封圈、 磁控阴极、 驱动装置及导向装置、 检测仪器、 工业摄像
机、 备用孔板等构成。 实现对玻璃基片的磁控溅射, 完成镀膜过程。
⑨ 出口室: 结构与入口室相同, 但真空泵的配置及其排气量不同。
? ? ?旋转卸片机: 将镀膜玻璃与装片框分开, 镀膜玻璃被传送到输入输送机, 空装片框则
从本处返回到装框站。
? ? ? 输入输送机: 与装片台作用相同, 用于将镀膜玻璃输送到出口洗涤干燥机。
? ? ?出口洗涤干燥机: 排除溅射 时 落 于 玻 璃 表 面 的 无 用 粒 子, 为 下 一 步 在 线 检 验 做
准备。
? ? ?成品检验站: 是一个钢结构的密闭空间, 自地面起, 将生产线的一段辊道输送机包
在其中。 室内装有镀膜玻璃膜层质量自动检测仪, 并有平台, 可供人工检验镀膜玻璃的外观
质量。
? ? ?卸片台、 卸片机: 用来取走生产出来的镀膜玻璃。