在精馏塔操作过程中，有许许多多的控制参数，如工作电压、电流、塔釜温度、塔头温
度、冷媒温度、蒸汽压、液层高度、回流比、出料量等。按理说，这些参数都会直接或间接关
系到精馏产品的质量，因此，都很重要，都不可忽略，但最关键的还是塔头温度和塔板上的液
层高度。
塔头温度是分离组分的标尺，塔头温度过低，许多低沸点的杂质分离不出去；塔头温度过
高，许多不该分离的三氯氢硅或四氯化硅的好料被分离，带来浪费。因此，塔头温度的控制是
非常关键的。
塔板上的液层高度是衡量精馏塔内气液接触和传热、传质好坏的标志，也直接关系到精馏
效果的好坏。液层高度过低，气液接触不充分，传热、传质差，精馏效果不好；液层高度过
高，液体会产生飞溅，气体会产生夹带，甚至产生液泛，影响精馏的继续进行。因此，控制塔
板上的液层高度是非常关键的。
三氯氢硅或四氯化硅的精馏，一般塔板上的液层高度应为１５～２５ｍｍ（不包括泡沫区和飞
溅区）。
)#"单晶硅、多晶硅生产是一种复杂的系统工程，这里有由计算机控制的均匀转动及平稳升降
的机械技术；有难度很高的化工合成、提纯、还原和回收技术；有工频、中频及高频的电气技
术；有高压、低压的大功率供电技术；有制氢、制氮和制取超纯水的先进技术；有密闭的高温
技术、深度的冷冻技术。
这些技术都是目前少有的，而且是难以掌握的先进技术。如果掌握不了这些技术，就无法
生产出合格的单晶硅和多晶硅。