石英坩埚分为方形、圆形两大类：圆形的石英坩埚是用在单晶炉里拉制单晶硅的；方形的
石英坩埚是用在多晶硅铸锭中的。
（１）圆形的石英坩埚。圆形的石英坩埚又分透明 和不透明 ）两种。
透明的石英坩埚是用石英玻璃管在氢氧火焰的高温中扩径、封端后，再吹制而成的。透明
的石英坩埚具有石英玻璃的所有特性，它是高纯的二氧化硅体，对高纯硅的纯度影响极低；它
 透明石英坩埚
具有极低的膨胀系数、非常低的热导率、相当良好的电绝缘性，特别是耐温性能极好，可在
１４５０℃以下使用，所以可用在单晶炉里盛装熔化的多晶硅液体。但透明石英坩埚的制作工艺复
杂，成本太高，而且容易导致不均匀的热传输，不利于电子工业的发展。另外，现在的制造方
法还不能制造出大口径的透明石英坩埚。
不透明的石英坩埚是用电弧法制成的，工艺简单，成本低，而且可以生产出大口径的坩
埚，完全可以满足单晶硅生产的需要。
（２）方形的石英坩埚。方形的石英坩埚一般不是纯的石英玻璃制成的，是用石英陶瓷制成
的，其全称应该是 “方形石英玻璃陶瓷坩埚”。
方形石英坩埚是多晶硅铸锭炉的关键部件 ，是多晶硅成锭的模具。它要装载几
百千克，甚至１ｔ被熔化的多晶硅，在１４５０℃以上的温度下工作５０多个小时，因此要求能够耐
高温，且要求膨胀系数小，不炸裂，不变形，不沾污。
图５３ 不透明石英坩埚 图５４ 方形石英坩埚