水中所含的杂质对水的影响极大，很少的杂质就可影响水的性质，甚至可直接改变水的特
性。所以，水质对于水来说是至关重要的。
水的种类非常多，大体可分为天然水和人工加工的水。天然水有两大类，淡水和咸水，也可
分为硬水和软水，硬度低于８度的水为软水 （不含或较少含有钙镁化合物）。按存在的形式，水
又可分为江河湖泊水、土壤水、地下水、生物水。按照结构又可分为普通水、结晶水、重水。
这里所涉及的是纯水，是一种人工加工的水。纯水又可分为蒸馏水、去离子水、高纯水和
超纯水。
（１）蒸馏水。就是将水蒸馏、冷凝过的水，蒸二次的称为重蒸水，三次的称为三蒸水。有
时候为了特殊目的，在蒸前会加入适当试剂，如有时会在水中加酸，可使水中的氨成为不挥发
的铵盐；低耗氧量的水，加入高锰酸钾与酸等。工业蒸馏水是采用蒸馏水方法取得的纯水，一
般普通蒸馏取得的水纯度不高，经过多级蒸馏水，出水才可达到很纯，成本相对比较高。
（２）去离子水。就是将水通过阳离子交换树脂 （常用的为苯乙烯型强酸性阳离子交换树
脂），则水中的阳离子被树脂所吸收，树脂上的阳离子 Ｈ＋被置换到水中，并且和水中的阴离
子组成相应的无机酸；含此种无机酸的水再通过阴离子交换树脂 （常用的为苯乙烯型强碱性阴
离子）ＯＨ－被置换到水中，并且和水中的 Ｈ＋结合成水，此即去离子水。去离子水在现代工
业中有非常广泛的用途，使用去离子水，是我国很多行业提高产品质量，赶超世界先进水平的
重要手段之一。由于去离子水中的离子数可以被人为控制，从而使它的电阻率、溶解度、腐蚀
性、病毒细菌等物理、化学及病理等指标均得到良好的控制。在工业生产及实验室的实验中，
如果涉及使用水的工艺都使用去离子水，那么许多参数会更接近设计或理想数据，产品质量将
变得易于控制。
（３）高纯水。是指化学纯度极高的水，其主要应用在生物、化学化工、冶金、宇航、电力
等领域，但其对水质纯度要求相当高，所以一般应用最普遍的还是电子工业。例如电力系统所
用的纯水，要求各杂质含量低达 “μｍ／Ｌ”级。在纯水的制作中，水质标准所规定的各项指标
应该根据电子 （微电子）元器件 （或材料）的生产工艺而定 （如普遍认为造成电路性能破坏的
颗粒物质的尺寸为其线宽的１／１０～１／５），但由于微电子技术的复杂性和影响产品质量的因素
繁多，至今还无一份由工艺试验得到的适用于某种电路生产的完整的水质标准。不过近年来电
子级水标准也在不断地修订，而且高纯水分析领域的许多突破和发展，新的仪器和新分析方法
的不断应用都为制水工艺的发展创造了条件。高纯水的国家标准为：ＧＢ１１４６．１—８９至 ＧＢ
１１４６．１１—８９ ［１６８］，目前我国高纯水的标准将电子级水分为五个级别：Ⅰ级、Ⅱ级、Ⅲ级、
Ⅳ级和Ⅴ级，该标准是参照 ＡＳＴＭ 电子级标准而制定的。
（４）超纯水。可以认为是一般工艺很难达到的程度，如水的电阻率大于１８ＭΩ·ｃｍ （没
有明显界线），则称为超纯水。关键是看用水的纯度及各项特性指标，如电导率或电阻率、ｐＨ
值、钠、重金属、二氧化硅、溶解有机物、微粒子以及微生物指标等。