多晶硅生产与石英玻璃联产主要就是为了环保和节能。
在传统的多晶硅生产中有大量的尾气排出，尤其是改良西门子法，它不仅有大量的尾气排
出，而且还要排出大量的四氯化硅。每生产１ｋｇ多晶硅，要排出１０～１５ｋｇ四氯化硅。由于多
晶硅的快速发展，四氯化硅越来越多，成为过剩之物。
多晶硅生产的尾气和排出的四氯化硅都是有毒物质，会对环境造成严重的污染，是不可以
直接排放到大气中的。可是，处理这些有毒物质不仅需要大量的资金，而且效果也不会太理
想，处理后还会有大量的含酸废水和二氧化硅废渣产生，也同样会给环境带来一定的污染。
有人把四氯化硅加氢，制成三氯氢硅，重新用于多晶硅生产，但这种方法耗电多，经济上
)')不合理，而且也危险，所以同样不可取。
要知道，多晶硅生产的尾气里的氢气和四氯化硅是生产石英玻璃的原料，如果用来生产石
英玻璃，不仅可生产出合格的高质量的石英玻璃，而且还可以防止有害物质污染环境。
其实，用制备多晶硅所产生的尾气来制备石英玻璃的好处不止这些，它还可以节能。
采用传统的单项生产法生产多晶硅，还原料从鼓泡器里出来后被送进还原炉。在炉内，还
原料被加热到１０５０～１２５０℃的高温，发生氢还原反应，生成多晶硅。采用这种生产法，进入
还原炉的还原料只有少数 （一般认为１０％～２０％）参加反应，生成多晶硅，绝大多数被当成
尾气放出来。为避免浪费，人们把尾气中的氢气和四氯化硅回收，经净化提纯后再利用。这样
一来，这些出来的高温料，需要进入由冷冻分离器和氢气回收组成的回收系统回收。在回收系
统里，还原料被冷冻降温至四氯化硅的沸点 （５７．６℃）之下，一般认为应在３８～４０℃为好。
如按还原料在还原炉里的低限温度１０５０℃，降温后的上限４０℃计算，也要降温１０００℃左右。
问题是，回收后４０℃的常温还原料要重新被送入鼓泡器里，然后通进还原炉，再次被加热到
１０５０～１２５０℃的高温。很明显，这是一种浪费。但这种浪费是不可避免的。
用制备多晶硅所产生的尾气来制备石英玻璃是连续的，热能是综合利用的。由还原炉里出
来没有参加反应的还原料不进入回收系统，而被当成生产石英玻璃的原料直接进入制砣机，因
此不用降温。也就是说，采用 “多晶硅和石英玻璃的联合制备法”生产多晶硅是可以避免上述
浪费的。换句话说，采用 “多晶硅和石英玻璃的联合制备法”生产多晶硅可以节约８０％～
９０％的能源。
由于用制备多晶硅所产生的尾气来制备石英玻璃可以环保，又可以节能，所以多晶硅生产
才要与石英玻璃联产。
