多晶硅生产离不开电,尤其是还原系统,离开电,不仅生产根本无法进行,而且还会因炉
温和压力下降,使空气进入炉内,导致多晶硅产品表面氧化,严重的,还会引起炉体爆炸,造
成重大事故。
为了保证安全生产,在生产实践中,人们根据多晶硅生产中各系统的不同特性,总结出一
套处理停电的安全方法。
(1)四氯化硅或三氯氢硅合成和提纯突然停电的处理。突然停电对四氯化硅或三氯氢硅合
成的影响不大,如果冷却水没有停,生产还可以照常进行,但对四氯化硅或三氯氢硅的提纯有
影响,停电,会使塔釜的电加热器停止加热,从而影响提纯的正常进行,因此要立刻关闭塔头
的出料管阀门,让塔进行自然的全回流运行,慢慢地将塔温降下来,同时打开平衡气,防止外
气入塔。
(2)氢气净化突然停电的处理。突然停电,如果使用的是常温去氧剂,影响就不大,氢气
!"(净化系统还可以照常进行净化,但如果使用的是高温去氧剂,就应立刻关闭系统,停止为还原
或制砣供气,但系统的进气阀门不能关闭,为的是使系统内保持正压。
突然停电,再生的系统要立刻关闭,同样只关闭放气阀门,不关进气阀门。
(3)多晶硅氢还原突然停电的处理。突然停电对氢还原影响比较大,应立即停炉,关闭所
有原料气的进出还原炉的阀门,但冷却水阀不能关,同时通入氮气,保持炉内的正压。