所述ｐＨ 调节剂胺碱是一种有机碱，使切削液呈碱性，可与硅
发生化学反应，如式：Ｓｉ＋２ＯＨ－ ＋Ｈ２Ｏ→ＳｉＯ２ ３－ ＋２Ｈ２↑，胺
碱产生的氢氧根离子与硅反应，均匀地作用于硅片的被加工表面，
可使硅片剩余损伤层小，减小了后面工序加工量，有利于降低生产
成本。碱性切削液对金属有钝化作用，避免切削液腐蚀设备和刀
片，提高刀片寿命，具有１３个以上螯合环、无金属离子且溶于水
的螯合剂ＦＡ／Ｏ为河北工业大学多年研制并已在半导体加工行业
普通使用的产品，具有优良的去除金属离子的性能，尤其是可以明
显去除刀片产生的铁离子，去离子水为最主要溶剂。