一种低温蒸发、冷却生产超净高纯试剂的方法包括如下步骤：将原料与惰性载气分别送
入加热蒸发器，加热到原料的沸点以下２～３０℃，在低温下原料被蒸发，与惰性载气发生对
流传质，原料蒸气与惰性载气一起进入冷凝器，原料蒸气被冷凝获得产品。采用本发明的方
法，加热、冷凝过程中气相温度波动小，控制方便，单体设备的产量高，产品的纯度可达到
ＳｅｍｉＣ８级以上，易于工业化实施。