电子工业范围广，所用材料品种繁多。特别是半导体工业、微电子工业的发展，所用化
６６ 新型电子化学品生产技术与配方
学试剂也随之迅速发展。自从硅平面工艺建立后，半导体工业获得飞速进展，其中一个重要
的原因就是不断开发先进技术和相应的各种新型试剂。电子工业用试剂主要有以下几种。