(1)超晶格、量子阱材料从目前我国国力和我们已有的基础出发,应以三基色 (超高亮
度红、绿和蓝光)材料和光通信材料为主攻方向,并兼顾新一代微电子器件和电路的需求,
加强 MBE 和 MOCVD 两 个 基 地 的 建 设, 引 进 必 要 的 适 合 批 量 生 产 的 工 业 型 MBE 和
MOCVD 设 备 并 着 重 致 力 于 GaAlAs/GaAs,InGaAlP/InGaP,GaN 基 蓝 绿 光 材 料,In
GaAs/InP和InGaAsP/InP等材料体系的实用化探究是当务之急。到2010年,每年能具备
至少100万平方英寸 MBE 和 MOCVD 微电子和光电子微结构材料的生产能力。
宽带隙高温半导体材料如SiC、GaN 基微电子材料和单晶金刚石薄膜以及 ZnO 等材料
也应择优布点,分别做好探究和开发工作。